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4月25日，半导体设备公司沈阳芯源微电子设备股份有限公司（芯源微，688037）披露2023年第一季业绩，期内营收2.88亿元，同比增长56.89%，归母净利6597.74万元，同比增长103.55%。

芯源微表示，营收增长主要系半导体设备行业景气度持续，公司收入规模持续增长所致；而净利润增长主要系报告期内公司销售收入增加及嵌入式软件产品退税到账款增加所致。

芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶 /显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

由于国内半导体产业持续扩建产能，A股半导体设备公司一季度业绩表现靓丽。

之前，北方华创（002371）一季度预计营收36亿元-40亿元，同比增长68.56%-87.29%。预计归属于上市公司股东的净利润5.6亿元-6.2亿元，同比增长171.24%-200.30%。

芯源微2022年全年业绩也表现靓丽。2022年公司实现营业收入13.8亿元，同比增长67.12%；归属于上市公司股东的净利润2.0亿元，同比增长158.77%，经营性净现金流1.93亿元，同比大幅由负转正。

芯源微披露，2022年公司全年新签订单约22亿元，再创历史新高，其中前道产品实现了快速放量。

4月25日，芯源微在回复投资者提问时称，2022年第四季度，公司首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，已顺利实现验收。浸没式机台的推出，标志着公司前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭代。目前国内前道涂胶显影设备市场仍然被日本东京电子高度垄断，随着公司产品的不断成熟，市场份额有望实现快速提升。在产能准备方面，公司沈阳飞云路产能持续饱满；沈阳彩云路一期已于2022年上半年投入使用，目前产能饱满，上海临港厂区已于2023年1月完成主体建设封顶并争取尽快投入使用，整体来看公司产能准备较为充沛。

在清洗技术上，芯源微回复投资者表示，公司已掌握清洗领域多项核心技术，在晶圆正反面颗粒清洗、化学药品精确供给及回收、内部微环境精确控制等技术方面已达到国际先进水平。近年来公司生产的前道物理清洗机、后道湿法类设备已成为国内主流产品，公司后续也将推出化学清洗机产品，进一步丰富产品线。

截至25日收盘，芯源微报收293.90元，涨幅1.35%。